{"id":4613,"date":"2025-09-26T09:02:44","date_gmt":"2025-09-26T01:02:44","guid":{"rendered":"https:\/\/www.bacintl.com\/?p=4613"},"modified":"2025-10-09T10:28:30","modified_gmt":"2025-10-09T02:28:30","slug":"how-is-the-air-flow-control-in-a-cleanroom-achieved","status":"publish","type":"post","link":"https:\/\/www.bacintl.com\/fr\/how-is-the-air-flow-control-in-a-cleanroom-achieved\/","title":{"rendered":"Comment le flux d'air est-il contr\u00f4l\u00e9 dans une salle blanche ?"},"content":{"rendered":"
The core objective is to ensure the directional flow of air within the cleanroom without dead corners or vortices, while efficiently filtering particles and controlling the diffusion of pollutants. The implementation logic should revolve around “where the airflow comes from, how it flows, and where it goes”, which can be specifically broken down into the following five key links:First, clarify: The core objective of air flow control in a cleanroom
\nAvant de mettre en \u0153uvre la solution technique, il est n\u00e9cessaire d'ancrer les trois objectifs fondamentaux du contr\u00f4le des flux d'air, et toutes les conceptions doivent s'articuler autour de ces objectifs :
\nDirectionnalit\u00e9 : L'air circule le long de la trajectoire pr\u00e9d\u00e9finie (verticalement vers le bas ou horizontalement vers l'avant), ce qui \u00e9vite la formation de \"tourbillons\" au-dessus de la plaquette ou de l'\u00e9quipement (les tourbillons peuvent retenir les particules et provoquer une pollution secondaire).
\nUniformit\u00e9 : Il n'y a pas de fluctuation significative de la vitesse et de la direction du flux d'air dans la zone nettoy\u00e9e (par exemple, un \u00e9cart de vitesse du flux vertical de \u226410%), ce qui emp\u00eache l'accumulation de particules dans les zones locales.
\nHaute efficacit\u00e9 : Le flux d'air peut rapidement emporter les particules g\u00e9n\u00e9r\u00e9es dans la zone propre (telles que celles \u00e9mises par le personnel et les \u00e9quipements) et les \u00e9vacuer par le syst\u00e8me de retour d'air, en \u00e9vitant que le temps de s\u00e9jour des particules ne d\u00e9passe la plage autoris\u00e9e du processus (en g\u00e9n\u00e9ral, le temps de s\u00e9jour des particules dans la zone propre doit \u00eatre inf\u00e9rieur \u00e0 1 seconde).
\nIi. \u00c9tape principale 1 : S\u00e9lection du mode d'organisation du flux d'air (en fonction des exigences de propret\u00e9)
\nLes diff\u00e9rentes zones de propret\u00e9 (telles que les zones de production principales et les zones auxiliaires) ont des exigences diff\u00e9rentes en mati\u00e8re de flux d'air. Il est n\u00e9cessaire de d\u00e9terminer d'abord le mode d'organisation du flux d'air correspondant - il s'agit de la \"conception de haut niveau\" du contr\u00f4le du flux d'air, qui d\u00e9termine directement la s\u00e9lection et l'agencement ult\u00e9rieurs des \u00e9quipements. Les principaux mod\u00e8les de salles blanches pour semi-conducteurs adoptent les trois types suivants, avec le \"flux unidirectionnel vertical\" comme \u00e9l\u00e9ment central :<\/div>\n
\n\n\n\n\n\n\n
Mod\u00e8le d'organisation du flux d'air<\/td>\nPrincipe de base<\/td>\nZone concern\u00e9e<\/td>\nExigences relatives aux param\u00e8tres cl\u00e9s<\/td>\n<\/tr>\n
\u00c9coulement unidirectionnel vertical (\u00e9coulement laminaire)<\/td>\nL'air s'\u00e9coule verticalement depuis le haut de la salle blanche (remplie de filtres), couvrant toute la zone comme une \"cascade d'air\", puis est \u00e9vacu\u00e9 par les trous de retour d'air au sol, formant un \"canal unidirectionnel du haut vers le bas\".<\/td>\nZones de haute propret\u00e9 (classe ISO 1 \u00e0 5) : telles que les zones de lithographie EUV, les zones de collage des plaquettes et les zones de gravure.<\/td>\n\n

Vitesse du flux d'air : 0,25-0,5 m\/s (pour les processus avanc\u00e9s, elle doit \u00eatre \u22650,3 m\/s) ;<\/p>\n

Uniformit\u00e9 du flux d'air : \u226590% (diff\u00e9rence de vitesse entre deux points \u226410%)<\/p>\n

Taux de couverture du filtre : \u226590% (une couverture totale de 100% est requise pour la zone de classe 1)<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n

\u00c9coulement unidirectionnel horizontal (laminaire)<\/td>\nL'air circule horizontalement d'un c\u00f4t\u00e9 de la salle blanche (comme un r\u00e9seau de filtres muraux) vers la zone de reprise d'air de l'autre c\u00f4t\u00e9, formant un \"flux d'air unidirectionnel gauche-droite\/avant-arri\u00e8re\"<\/td>\nZones locales de grande propret\u00e9 : telles que les tables de nettoyage des plaquettes, les zones de rev\u00eatement de r\u00e9sine photosensible (les points locaux du processus doivent \u00eatre prot\u00e9g\u00e9s).<\/td>\n\n

Vitesse du flux d'air : 0,3-0,6 m\/s ;<\/p>\n

Largeur de la couverture du flux d'air : \u22643m (une largeur excessive entra\u00eenera une att\u00e9nuation du flux d'air et une vitesse irr\u00e9guli\u00e8re)<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n

\u00c9coulement non unidirectionnel (turbulence)<\/td>\n\n

L'air est envoy\u00e9 dans la salle blanche \u00e0 travers des filtres mont\u00e9s au plafond ou au mur, sans direction de flux fixe, et est \u00e9vacu\u00e9 de mani\u00e8re al\u00e9atoire par le syst\u00e8me de retour d'air. La concentration de particules est r\u00e9duite par \"dilution de l'air\"<\/p>\n<\/td>\n

Zones auxiliaires de faible propret\u00e9 : telles que les vestiaires, les zones de stockage temporaire des mat\u00e9riaux, les couloirs des salles blanches (classe ISO 6~8).<\/td>\n\n

Taux de renouvellement de l'air : \u226520 \u00e0 60 fois par heure (\u226560 fois pour la classe 6 et \u226520 fois pour la classe 8).<\/p>\n

\u00c9viter les angles morts locaux (tels que les angles des murs et les canaux de reprise d'air sous les \u00e9quipements).<\/p>\n<\/td>\n<\/tr>\n<\/tbody>\n<\/table>\n<\/div>\n

\u00a0<\/div>\n
\"\"<\/div>\n
\n
Iii. Maillon central 2 : Composition de l'\u00e9quipement du syst\u00e8me de contr\u00f4le des flux d'air (support mat\u00e9riel)
\nApr\u00e8s avoir d\u00e9termin\u00e9 le mode d'organisation du flux d'air, un ensemble complet d'\u00e9quipements \"air souffl\u00e9 - filtration - air repris\" est n\u00e9cessaire pour mettre en \u0153uvre l'objectif de contr\u00f4le du flux d'air. Ce syst\u00e8me est le \"c\u0153ur mat\u00e9riel\" du contr\u00f4le des flux d'air et comprend principalement cinq types d'\u00e9quipements cl\u00e9s :
\n1. Syst\u00e8me d'alimentation en air : Fournit une source d'air stable et propre
\nUnit\u00e9 de traitement de l'air (AHU\/MAU)
\nFonction : Tout d'abord, il effectue un \"pr\u00e9traitement\" de l'air frais ext\u00e9rieur (ou de l'air de retour int\u00e9rieur) - en filtrant les grosses particules (filtre primaire), en r\u00e9gulant la temp\u00e9rature et l'humidit\u00e9 (batterie de chauffage\/refroidissement, module de d\u00e9shumidification\/humidification) et en \u00e9liminant les polluants chimiques (adsorption sur charbon actif, filtre chimique), afin de garantir que l'air envoy\u00e9 dans la salle blanche est \"propre, \u00e0 temp\u00e9rature et \u00e0 humidit\u00e9 constantes\".
\nPrincipales exigences : Utiliser des ventilateurs \u00e0 fr\u00e9quence variable (qui peuvent ajuster dynamiquement la vitesse du vent en fonction des exigences de pression et de volume d'air de la salle blanche afin d'\u00e9viter le gaspillage d'\u00e9nergie) ; Le ventilateur doit \u00eatre un \"moteur sans balais\" (pour \u00e9viter que la poudre de carbone ne tombe et ne g\u00e9n\u00e8re des particules). La pr\u00e9cision du contr\u00f4le de la temp\u00e9rature et de l'humidit\u00e9 doit correspondre aux exigences du processus (par exemple \u00b1 0,1\u2103 de temp\u00e9rature et \u00b1 2%RH d'humidit\u00e9).
\nConduit d'alimentation en air et bo\u00eete de pression statique
\nFonction : Acheminer uniform\u00e9ment l'air trait\u00e9 par la CTA vers le haut de la salle blanche. Le caisson de pression statique peut \"tamponner le flux d'air\", emp\u00eachant le flux d'air d'impacter directement le filtre et de provoquer une vitesse irr\u00e9guli\u00e8re.
\nExigences en mati\u00e8re de mat\u00e9riaux : Paroi int\u00e9rieure lisse (pour emp\u00eacher l'adh\u00e9rence des particules), en acier inoxydable ou en t\u00f4le d'acier galvanis\u00e9 (r\u00e9sistant \u00e0 la corrosion et \u00e0 la poussi\u00e8re).
\n2. Syst\u00e8me de filtration : Intercepte les particules pour garantir un flux d'air propre
\nLa filtration est la \"barri\u00e8re centrale\" du contr\u00f4le du flux d'air. Il est n\u00e9cessaire d'intercepter progressivement les particules de diff\u00e9rentes tailles gr\u00e2ce \u00e0 une \"filtration en trois \u00e9tapes\" (efficacit\u00e9 primaire \u2192 efficacit\u00e9 moyenne \u2192 haute efficacit\u00e9\/ultra-haute efficacit\u00e9) afin d'\u00e9viter que le filtre \u00e0 haute efficacit\u00e9 ne se colmate pr\u00e9matur\u00e9ment.
\nFiltre primaire (situ\u00e9 \u00e0 l'entr\u00e9e de la CTA) : Intercepte les particules \u22655\u03bcm (telles que la poussi\u00e8re et les cheveux), prot\u00e9geant ainsi le filtre \u00e0 moyenne efficacit\u00e9 suivant. Le mat\u00e9riau est principalement constitu\u00e9 de tissu non tiss\u00e9 et doit \u00eatre remplac\u00e9 tous les 1 \u00e0 3 mois.
\nFiltre \u00e0 moyenne efficacit\u00e9 (situ\u00e9 \u00e0 l'int\u00e9rieur de la CTA) : Intercepte les particules \u22651\u03bcm pour prot\u00e9ger le filtre \u00e0 haute efficacit\u00e9. Le mat\u00e9riau est principalement constitu\u00e9 de fibres de verre et doit \u00eatre remplac\u00e9 tous les 3 \u00e0 6 mois.
\nFiltres \u00e0 haute\/tr\u00e8s haute efficacit\u00e9 (situ\u00e9s en haut de la salle blanche, \u00e0 savoir la \"couche filtrante du plafond\") :
\nFiltre \u00e0 haute efficacit\u00e9 (HEPA) : Intercepte les particules \u22650,3\u03bcm, avec une efficacit\u00e9 de filtration de \u226599,97%, adapt\u00e9 aux zones de classe ISO 5 \u00e0 8.
\nFiltre \u00e0 ultra-haute efficacit\u00e9 (ULPA) : Intercepte les particules \u22650,12\u03bcm, avec une efficacit\u00e9 de filtration de \u226599,999%, adapt\u00e9 aux zones de classe ISO 1 \u00e0 4 (comme le proc\u00e9d\u00e9 5nm) ;
\nConditions d'installation : Le filtre et le plafond doivent \u00eatre scell\u00e9s \u00e0 l'aide d'un \"mastic\" ou d'une \"rainure liquide\" (pour \u00e9viter que l'air ne s'\u00e9chappe par l'interstice et n'entra\u00eene une non-conformit\u00e9 aux normes de propret\u00e9), et un \"test d'int\u00e9grit\u00e9\" (tel que le test DOP) doit \u00eatre effectu\u00e9 tous les trimestres pour v\u00e9rifier qu'il n'y a pas de dommages.
\n3. Syst\u00e8me de retour d'air : Assurer l'\u00e9vacuation directionnelle du flux d'air pour former une circulation d'air.
\nLe syst\u00e8me de reprise d'air est la cl\u00e9 de la \"boucle ferm\u00e9e\" du flux d'air et doit \u00eatre coordonn\u00e9 avec le syst\u00e8me d'alimentation en air pour garantir que le flux d'air \"ne fait que sortir et ne revient pas\", \u00e9vitant ainsi la r\u00e9tention de particules.
\nConception du circuit d'air de retour.
\nZone de flux unidirectionnel vertical : Des \"grilles de reprise d'air\" sont pos\u00e9es sur le sol (couvrant la totalit\u00e9 du sol ou dispos\u00e9es le long de la p\u00e9riph\u00e9rie de l'\u00e9quipement). Le flux d'air descend par le haut, transportant les particules \u00e0 travers les grilles dans le conduit de retour d'air souterrain, puis retourne dans la CTA pour y \u00eatre retrait\u00e9.
\nZone de flux unidirectionnel horizontal : La grille de reprise d'air est situ\u00e9e en aval du flux d'air (par exemple au bas du mur oppos\u00e9), ce qui garantit que le flux d'air couvre enti\u00e8rement la zone de traitement dans le sens horizontal avant d'\u00eatre \u00e9vacu\u00e9.
\nZone de flux non unidirectionnel : La grille de reprise d'air est g\u00e9n\u00e9ralement situ\u00e9e dans l'angle du mur ou du plafond. Il faut \u00e9viter qu'elle se trouve directement en face de la sortie d'air souffl\u00e9 (pour \u00e9viter un court-circuit du flux d'air et des angles morts locaux).
\nExigences relatives \u00e0 l'\u00e9quipement de reprise d'air
\nLe conduit de retour d'air doit \u00eatre \u00e9quip\u00e9 d'un \"filtre de retour d'air \u00e0 efficacit\u00e9 moyenne\" (pour intercepter les grosses particules soulev\u00e9es par le sol et emp\u00eacher la contamination de la CTA).
\nLe ventilateur de reprise doit \u00eatre \"reli\u00e9 \u00e0 la conversion de fr\u00e9quence\" pour le ventilateur de soufflage (en veillant \u00e0 ce que le volume d'air souffl\u00e9 = volume d'air repris + volume d'air frais pour maintenir une pression positive stable dans la salle blanche).
\n4. \u00c9quipement de rectification du flux d'air : Optimise l'uniformit\u00e9 du flux d'air et \u00e9limine les tourbillons.
\nM\u00eame avec un syst\u00e8me de soufflage et de reprise d'air, des zones locales (comme sous les \u00e9quipements ou dans les coins) peuvent encore pr\u00e9senter des tourbillons de flux d'air, qui doivent \u00eatre optimis\u00e9s au moyen d'\u00e9quipements de rectification.
\nPlaque de diffusion du flux d'air (situ\u00e9e sous le filtre) : Elle \"disperse et homog\u00e9n\u00e9ise\" le flux d'air envoy\u00e9 par le filtre pour \u00e9viter l'impact direct du flux d'air sur la plaquette ou l'\u00e9quipement, en formant un flux d'air vertical uniforme.
\nPlaques d\u00e9flectrices (situ\u00e9es autour des \u00e9quipements) : Lorsqu'il y a de gros \u00e9quipements (tels que des machines de photolithographie) dans la zone propre, l'\u00e9quipement bloque le flux d'air. Des plaques d\u00e9flectrices doivent \u00eatre install\u00e9es sur le c\u00f4t\u00e9 de l'\u00e9quipement pour guider le flux d'air autour de l'\u00e9quipement et emp\u00eacher la formation de tourbillons sous l'\u00e9quipement.
\nMachine \u00e0 rideau d'air (situ\u00e9e \u00e0 l'entr\u00e9e ou \u00e0 la fen\u00eatre de transfert de la salle blanche) : Elle forme une \"barri\u00e8re horizontale de flux d'air\" \u00e0 l'entr\u00e9e pour emp\u00eacher l'infiltration d'air de faible propret\u00e9 provenant de l'ext\u00e9rieur, tout en n'affectant pas l'entr\u00e9e et la sortie du personnel\/mat\u00e9riel.
\nIv. Maillon central 3 : Surveillance et r\u00e9gulation dynamique des param\u00e8tres de d\u00e9bit d'air (assurance logicielle)
\nLe contr\u00f4le du d\u00e9bit d'air n'est pas une \"solution unique\". Il n\u00e9cessite une surveillance en temps r\u00e9el et un ajustement dynamique pour faire face aux fluctuations du d\u00e9bit d'air caus\u00e9es par les mouvements du personnel, le fonctionnement des \u00e9quipements, l'obstruction des filtres, etc. Cette \u00e9tape repose sur l'interaction \"capteurs + syst\u00e8mes de contr\u00f4le\" :
\n1. Surveillance des param\u00e8tres cl\u00e9s
\nInstallez les capteurs suivants dans diff\u00e9rentes zones de la salle blanche (telles que les sorties d'air d'alimentation, au-dessus de l'\u00e9quipement de traitement et les sorties d'air de retour) afin de collecter des donn\u00e9es en temps r\u00e9el :
\nCapteur de vitesse du flux d'air : Contr\u00f4le la vitesse du flux d'air vertical\/horizontal (pr\u00e9cision \u00b10,02 m\/s) pour garantir la conformit\u00e9 avec la valeur de conception (par exemple, 0,3 m\/s\u00b10,03 m\/s) ;
\nCapteur de direction du flux d'air : Au moyen de l'\"an\u00e9mom\u00e8tre \u00e0 fil chaud\" ou de la technologie de \"v\u00e9locim\u00e9trie par images de particules (PIV)\", il surveille l'existence de tourbillons ou de flux invers\u00e9s dans le flux d'air (par exemple, s'il y a un flux d'air invers\u00e9 vers le haut sous l'\u00e9quipement).
\nCompteur de particules : Il surveille la concentration de particules \u22650,1\u03bcm et \u22650,5\u03bcm dans l'air en temps r\u00e9el, et d\u00e9termine indirectement l'efficacit\u00e9 du flux d'air \u00e0 transporter les particules (si la concentration de particules augmente soudainement, cela peut \u00eatre d\u00fb \u00e0 une diminution de la vitesse du flux d'air ou \u00e0 un filtre endommag\u00e9).
\n2. Logique de r\u00e9gulation dynamique
\nLes donn\u00e9es du capteur sont transmises en temps r\u00e9el au \"syst\u00e8me de contr\u00f4le central (BMS)\". Le syst\u00e8me ajuste automatiquement l'\u00e9quipement en fonction du seuil pr\u00e9d\u00e9fini. La logique de r\u00e9gulation de base comprend
\nR\u00e9gulation de la vitesse du flux d'air : Si la vitesse du flux d'air dans une zone donn\u00e9e est inf\u00e9rieure \u00e0 la valeur d\u00e9finie (par exemple en raison de l'obstruction d'un filtre), le syst\u00e8me de gestion des b\u00e2timents augmente automatiquement la fr\u00e9quence du ventilateur de soufflage, augmente le volume d'air souffl\u00e9 et r\u00e9tablit la vitesse du flux d'air.
\nR\u00e9gulation de l'\u00e9quilibre de la pression : Si la pression positive entre la salle blanche et l'ext\u00e9rieur est insuffisante (par exemple en raison de l'ouverture fr\u00e9quente des portes), le syst\u00e8me de gestion des b\u00e2timents r\u00e9duit automatiquement le volume d'air de retour ou augmente le volume d'air frais afin de maintenir une pression positive stable (emp\u00eachant l'air ext\u00e9rieur de s'infiltrer).
\nOptimisation du flux d'air local : Si des tourbillons (concentration accrue de particules) se produisent autour de l'\u00e9quipement, le syst\u00e8me de gestion des b\u00e2timents peut activer l'\"unit\u00e9 locale de nettoyage\" (comme un petit ventilateur HEPA) int\u00e9gr\u00e9e \u00e0 l'\u00e9quipement pour compl\u00e9ter le flux d'air directionnel et \u00e9liminer les tourbillons.
\nV. Maillon central 4 : conception auxiliaire (\u00e9viter les interf\u00e9rences avec les flux d'air)
\nOutre les syst\u00e8mes susmentionn\u00e9s, les conceptions auxiliaires, telles que l'agencement, les mat\u00e9riaux et les op\u00e9rations du personnel dans la salle blanche, auront \u00e9galement une incidence directe sur l'effet de contr\u00f4le du flux d'air et doivent \u00eatre optimis\u00e9es simultan\u00e9ment.
\nDisposition des \u00e9quipements : Les \u00e9quipements grands et hauts (tels que les machines de photolithographie et les machines de gravure) doivent \u00eatre dispos\u00e9s dans le sens du flux d'air (les zones de flux vertical doivent \"atteindre le ciel et se tenir sur le sol\" pour \u00e9viter de bloquer le flux d'air ; les zones de flux horizontal doivent \u00eatre parall\u00e8les \u00e0 la direction du flux d'air). Un \"canal de circulation de l'air\" de \u22651,2 m doit \u00eatre r\u00e9serv\u00e9 entre les \u00e9quipements pour \u00e9viter que le flux d'air ne soit bloqu\u00e9.
\nMat\u00e9riau du sol et des murs : Le sol doit \u00eatre constitu\u00e9 d'un \"sol autonivelant en r\u00e9sine \u00e9poxy\" (lisse, sans joint, \u00e9vitant l'accumulation de particules ; r\u00e9sistant \u00e0 l'usure et antistatique), et la paroi doit \u00eatre constitu\u00e9e d'une \"plaque d'acier inoxydable\" ou d'une \"plaque d'acier de couleur\" (paroi int\u00e9rieure lisse, ne produisant pas de poussi\u00e8re, facile \u00e0 nettoyer), r\u00e9duisant les particules soulev\u00e9es par le flux d'air.
\nOp\u00e9rations concernant le personnel et le mat\u00e9riel : Le personnel doit se d\u00e9placer dans la \"direction aval du flux d'air\" (par exemple, dans les zones \u00e0 flux vertical, il doit se d\u00e9placer du bord de la zone propre vers la zone centrale du processus pour \u00e9viter de perturber le flux d'air et de former des tourbillons). Les chariots de transport de mat\u00e9riaux doivent \u00eatre \u00e9quip\u00e9s de roues \"exemptes de marques de roues et peu bruyantes\", et leurs trajectoires doivent \u00e9viter les zones sensibles au flux d'air (par exemple, au-dessus de la zone de photolithographie).
\nR\u00e9sum\u00e9 : L'essence du contr\u00f4le du d\u00e9bit d'air est la \"gestion en boucle ferm\u00e9e de la cha\u00eene compl\u00e8te\".
\nLe contr\u00f4le du flux d'air dans une salle blanche n'est pas le r\u00e9sultat d'un seul dispositif, mais plut\u00f4t d'une cha\u00eene compl\u00e8te en boucle ferm\u00e9e \"objectif (directionnel, uniforme, efficace) \u2192 sch\u00e9ma (flux unidirectionnel\/flux non unidirectionnel) \u2192 \u00e9quipement (alimentation et retour d'air + filtration) \u2192 surveillance (capteurs) \u2192 r\u00e9gulation (BMS) \u2192 conception auxiliaire (agencement\/mat\u00e9riel)\". Si l'on prend l'exemple de la zone ISO Class 1 des semi-conducteurs (processus 5nm), sa logique de contr\u00f4le du flux d'air peut \u00eatre simplifi\u00e9e comme suit :
\nLa CTA transforme l'air frais en air pur avec une temp\u00e9rature de \"23\u2103\u00b10.1\u2103 et RH45%\u00b12%\".
\nL'air est distribu\u00e9 uniform\u00e9ment dans le caisson de pression statique jusqu'au filtre ULPA sup\u00e9rieur et s'\u00e9coule verticalement vers le bas \u00e0 une vitesse de 0,35 m\/s.
\nLe flux d'air couvre la surface de la plaquette, transportant les particules g\u00e9n\u00e9r\u00e9es par le personnel\/l'\u00e9quipement, et p\u00e9n\u00e8tre dans le conduit de retour d'air par la grille de retour d'air au sol.
\nL'air repris, apr\u00e8s avoir travers\u00e9 le filtre \u00e0 moyenne efficacit\u00e9, retourne \u00e0 la CTA, se m\u00e9lange \u00e0 l'air frais et est retrait\u00e9 pour former une circulation.
\nLe capteur surveille la vitesse du flux d'air et la concentration de particules en temps r\u00e9el, et le BMS ajuste automatiquement la fr\u00e9quence du ventilateur pour assurer la stabilit\u00e9 des param\u00e8tres.
\nC'est pr\u00e9cis\u00e9ment gr\u00e2ce \u00e0 cette solution collaborative \"mat\u00e9riel + logiciel + gestion\" que les exigences strictes en mati\u00e8re de flux d'air dans les processus de fabrication de semi-conducteurs avanc\u00e9s peuvent \u00eatre satisfaites, ce qui permet d'\u00e9viter fondamentalement les d\u00e9fauts des puces caus\u00e9s par la contamination par les particules.<\/div>\n<\/div>","protected":false},"excerpt":{"rendered":"

Le contr\u00f4le du flux d'air dans une salle blanche est r\u00e9alis\u00e9 par une solution compl\u00e8te de \"conception du syst\u00e8me + \u00e9quipement de base + mode d'organisation du flux d'air + surveillance et r\u00e9gulation\".<\/p>","protected":false},"author":3,"featured_media":4579,"comment_status":"open","ping_status":"closed","sticky":false,"template":"","format":"standard","meta":{"_acf_changed":false,"footnotes":""},"categories":[92],"tags":[118],"class_list":["post-4613","post","type-post","status-publish","format-standard","has-post-thumbnail","hentry","category-industry-technology","tag-news-page-industry-technology"],"acf":[],"_links":{"self":[{"href":"https:\/\/www.bacintl.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4613","targetHints":{"allow":["GET"]}}],"collection":[{"href":"https:\/\/www.bacintl.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts"}],"about":[{"href":"https:\/\/www.bacintl.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/types\/post"}],"author":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.bacintl.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/users\/3"}],"replies":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.bacintl.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/comments?post=4613"}],"version-history":[{"count":4,"href":"https:\/\/www.bacintl.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4613\/revisions"}],"predecessor-version":[{"id":4633,"href":"https:\/\/www.bacintl.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/posts\/4613\/revisions\/4633"}],"wp:featuredmedia":[{"embeddable":true,"href":"https:\/\/www.bacintl.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media\/4579"}],"wp:attachment":[{"href":"https:\/\/www.bacintl.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/media?parent=4613"}],"wp:term":[{"taxonomy":"category","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.bacintl.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/categories?post=4613"},{"taxonomy":"post_tag","embeddable":true,"href":"https:\/\/www.bacintl.com\/fr\/wp-json\/wp\/v2\/tags?post=4613"}],"curies":[{"name":"wp","href":"https:\/\/api.w.org\/{rel}","templated":true}]}}