يتكون مرشح الهواء الفاصل بشكل أساسي من مادة المرشح، والقسم، والإطار الخارجي، ومواد الختم. من بينها، تعتبر مادة المرشح هي المكون الأساسي للمرشح، وعادة ما تستخدم ورق الألياف الزجاجية فائقة الدقة كمادة أساسية، وبعد المعالجة الكيميائية الخاصة، تتمتع بأداء ترشيح جيد ومقاومة درجات الحرارة العالية ومقاومة التآكل. يُستخدم القسم لفصل مادة المرشح إلى وحدات ترشيح مستقلة متعددة لتحسين كفاءة الترشيح. عادة ما يكون الإطار الخارجي مصنوعًا من سبائك الألومنيوم أو الفولاذ المقاوم للصدأ، مع قوة وثبات جيدين. تُستخدم مادة الختم لضمان أداء الختم بين المرشح والغرفة النظيفة لمنع تسرب الهواء.
يعتمد فلتر الهواء الفاصل على ورق عالي الكثافة من الألياف الزجاجية فائقة النعومة يتم طيه ثم فصله برقائق الألومنيوم التي يتم طيها بآلة خاصة. يتم استخدام عامل واجهة خرسانية خاصة لإغلاق الجوانب الأربعة، مما يضمن إحكام إغلاق الفلتر من جميع الجهات.
كفاءة الترشيح عالية جدًا، تصل إلى 99.99% (um0.3.H13).99.995% (um0.3.H14). قبل مغادرة المصنع، سيتم إجراء اختبار الأداء لجميع المرشحات على التوالي.
وهي تتضمن فلتر HEPA للفاصل الكرتوني وفلتر HEPA للفاصل الألومنيوم.