في بيئة التصنيع الإلكتروني، يعد ضمان التشغيل المستقر للمرشحات عالية الكفاءة المطوية على شكل حرف V (المشار إليها فيما يلي باسم "المرشحات عالية الكفاءة على شكل حرف V") رابطًا أساسيًا في الحفاظ على درجة غرف الأبحاث وضمان جودة الإنتاج. يجب إنشاء نظام إدارة دورة حياة كاملة من خمسة أبعاد: الاختيار والمطابقة، والتحكم في التركيب، ومراقبة التشغيل، وإدارة الصيانة، والتنسيق البيئي. التدابير المحددة هي كما يلي:

I. المرحلة المبكرة: التحديد الدقيق لمطابقة المتطلبات النظيفة للتصنيع الإلكتروني من المصدر
الاختيار هو أساس التشغيل المستقر. من الضروري أن تتطابق بدقة مع معايير مثل مستوى النظافة (بشكل أساسي ISO 3-5)، ومتطلبات حجم الهواء، وخصائص الملوثات لسيناريوهات محددة في التصنيع الإلكتروني (مثل غرف الطباعة الحجرية للرقائق، وورش تجميع ثنائي الفينيل متعدد الكلور، وغرف التعبئة والاختبار، وما إلى ذلك) لتجنب التشغيل غير المستقر الناجم عن "الاختيار غير الكافي" أو "الاختيار المفرط".
تتطابق كفاءة الترشيح مع درجة النظافة
وفقًا لمتطلبات مستوى النظافة في الورشة، اختر المرشح بدرجة الكفاءة المناسبة:
غرفة تنظيف من الفئة 5 (الفئة 100) ISO: الفئة H13/H14 (معيار EN 1822) مفضلة، مع كفاءة اعتراض جسيمات 0.3 ميكرومتر ≥99.95%/99.995%.
درجة ISO 4 (الدرجة 10) وما فوقها: يجب اختيار الدرجة U15/U16 لتلبية متطلبات الترشيح الأكثر صرامة للجسيمات الدقيقة (أقل من 0.1 ميكرومتر).
بالنسبة للعمليات الأساسية مثل الطباعة الليثوغرافية الضوئية وزرع الأيونات في تصنيع الرقائق، يجب إيلاء اهتمام إضافي لقدرة المرشح على امتصاص "الملوثات الكيميائية (مثل المركبات العضوية المتطايرة)" (يمكن استخدام مواد الترشيح المركبة من الكربون المنشط معًا).
حجم الهواء متوافق مع الهيكل
وفقًا لمتطلبات حجم هواء الإمداد لغرفة التنظيف (عادةً ما يتم حسابه "معدل تغيير الهواء"، على سبيل المثال، يتطلب المستوى 5 من ISO 200-400 مرة في الساعة)، حدد مرشحًا من النوع V يطابق حجم الهواء المقنن الفردي (المواصفات الشائعة: تجنب التشغيل عند حجم هواء يتجاوز 1000-3000 متر مكعب/ساعة (مما قد يتسبب في زيادة مفاجئة في المقاومة وتلف مادة المرشح) أو عند حجم هواء منخفض (مما قد يؤدي إلى عدم كفاية النظافة).
بالنسبة للمناطق النظيفة المدمجة (مثل غرف التنظيف المدمجة في المعدات)، اختر "هيكل رفيع على شكل حرف V" أو "تركيبة وحدات متعددة الوحدات" لضمان توزيع الهواء بشكل موحد بعد التركيب.
اختيار مواد المرشح ومواد الإطار
بالنسبة لمواد الترشيح، يجب تفضيل ورق الترشيح المصنوع من الألياف الزجاجية (مقاوم لدرجات الحرارة العالية والتآكل الكيميائي، ومناسب لمناطق العمليات ذات درجات الحرارة العالية في التصنيع الإلكتروني) أو مواد الترشيح المغلفة بـ PTFE (مقاومة منخفضة، وسهلة لتنظيف الغبار، ومناسبة للمناطق ذات الرطوبة العالية). يجب تجنب الأقمشة العادية غير المنسوجة (المعرضة لتساقط الألياف وتلويث المكونات).
الإطار مصنوع من سبائك الألومنيوم أو الفولاذ المقاوم للصدأ (مقاوم للصدأ ومضاد للتشوه)، ومانع التسرب "مانع تسرب السيليكون من الدرجة الغذائية" (خالٍ من التلوث المتطاير ويلبي "المتطلبات الخالية من السيليكون" لصناعة الإلكترونيات).
ثانيًا، على المدى المتوسط: التحكم الصارم في التركيب والختم لمنع "التسرب الالتفافي"
يعد "خطر التسرب" للمرشحات عالية الكفاءة من النوع V من النوع V خطرًا خفيًا رئيسيًا في التصنيع الإلكتروني (يمكن للهواء غير المرشح في الممر الجانبي أن يلوث المنطقة النظيفة مباشرة)، ويجب اعتماد عملية تركيب موحدة لضمان إحكام الإغلاق الموثوق به.

المعالجة المسبقة قبل التركيب
نظافة بيئة التركيب: تأكد من أن السقف ومجاري الهواء في الغرفة النظيفة قد تم "تطهيرها وتنظيفها" (إزالة خبث اللحام والغبار داخل القنوات) لمنع التصاق الملوثات بسطح مواد المرشح بعد التركيب.
فحص الفلتر: بعد فتح العلبة، تحقق مما إذا كانت مادة المرشح تالفة أو مجعدة، وما إذا كان الإطار مشوهًا، وما إذا كان مانع التسرب متجانسًا. في الوقت نفسه، تحقق من "تقرير اختبار الكفاءة" (مثل شهادة كفاءة MPPS في EN 1822).
الخطوات الرئيسية للتركيب والختم
اعتماد "مانع تسرب الإطار بالضغط على الإطار" أو "مانع تسرب السائل في الحوض":
منطقة نظيفة عامة: استخدم شرائط مطاطية مانعة للتسرب من مادة EPDM واضغط على الإطار بإحكام للتأكد من أن الضغط بين الشريط المطاطي وإطار التثبيت يصل إلى 30%-50% (تجنب الفجوات).
منطقة نظيفة أساسية (مثل غرفة الطباعة الليثوغرافية الضوئية): يجب اعتماد إحكام إغلاق الخزان السائل (إدخال إطار المرشح في الخزان السائل المملوء بـ "سائل مانع للتسرب خاص") لتحقيق "إحكام إغلاق بلا فجوات" والقضاء على التجاوز.
بعد التركيب، "تعديل توزيع الهواء المنتظم" : من خلال ضبط الألواح العاكسة داخل صندوق الضغط الساكن، تأكد من أن تدفق الهواء يعمل بالتساوي على كل طية من مادة المرشح على شكل حرف V (لتجنب تدفق الهواء المحلي المفرط الذي يسبب تآكل مادة المرشح).
كشف التسرب بعد التركيب
يجب إجراء "الكشف عن التسرب بالمسح الضوئي" وفقًا للمعيار ISO 14644-3: باستخدام "مقياس ضوئي للهباء الجوي"، يتم حقن رذاذ التحدي (مثل رذاذ زيت البولي أوكتانول PAO) في أعلى المرشح. يُستخدم المسبار للمسح على طول "الإطار ومنطقة الختم وسطح مادة المرشح" للمرشح. يجب أن يكون معدل التسرب ≤0.01% (≤0.005% في المنطقة الأساسية للتصنيع الإلكتروني). إذا تم العثور على تسرب، فيجب إعادة العمل الفوري (استبدال حشية الختم أو المرشح).
ثالثاً قيد التشغيل: المراقبة في الوقت الحقيقي للبارامترات الرئيسية والتحذير في الوقت المناسب من التشوهات
يتم تتبع حالة تشغيل الفلتر ديناميكيًا من خلال نظام المراقبة عبر الإنترنت لتجنب تدهور الأداء أو الفشل الناجم عن "المعلمات غير الطبيعية".
مراقبة المعلمات الأساسية
مراقبة الضغط التفاضلي (المقاومة): تركيب حساسات ضغط تفاضلي عند "المنبع" و"المصب" للمرشح لمراقبة التغيرات في الوقت الحقيقي من "المقاومة الأولية ← مقاومة التشغيل ← المقاومة النهائية" (عادةً ما تكون المقاومة الأولية 150-200 باسكال والمقاومة النهائية 400-500 باسكال). عندما تقترب المقاومة من المقاومة النهائية، يتم تشغيل "تحذير الاستبدال" (لمنع التحميل الزائد للمروحة وتلف مادة المرشح الناجم عن التشغيل المفرط للمقاومة).
مراقبة النظافة: قم بتركيب "عدادات الجسيمات" في محطات العمل الرئيسية في منطقة التنظيف (مثل مسارات نقل البُرادة ونقاط لحام ثنائي الفينيل متعدد الكلور) لمراقبة تركيز جسيمات 0.3 ميكرومتر/ 0.5 ميكرومتر في الوقت الفعلي. عندما يتجاوز التركيز المعيار، قم بإعطاء الأولوية للتحقق مما إذا كان المرشح يتسرب أو أن كفاءته تنخفض.
مراقبة درجة الحرارة والرطوبة: في التصنيع الإلكتروني، يمكن أن تؤثر التقلبات في درجة الحرارة (22 ± 2 ℃) والرطوبة (45 ± 5%RH) على مقاومة المرشحات (على سبيل المثال، يمكن أن تتسبب الرطوبة العالية في أن تصبح مادة المرشح رطبة وأثقل، مما يؤدي إلى زيادة المقاومة)، ومن الضروري ربط نظام تكييف الهواء لتثبيت المعايير البيئية.
مراقبة تنظيم تدفق الهواء المراقبة
يتم الكشف عن سرعة هواء الإمداد في المنطقة النظيفة (عادةً 0.3-0.5 م/ثانية) بانتظام بواسطة "مقياس شدة الريح الكروي الساخن" لضمان تدفق الهواء بشكل متوازي (منطقة نظيفة صفائحية)، وتجنب سرعة الهواء غير المتساوية المحلية (تشكيل مناطق دوامة وتراكم الملوثات) الناجمة عن انسداد طيات المرشح من النوع V.
الرابعة المرحلة اللاحقة: الصيانة العلمية والاستبدال لإطالة عمر الخدمة وتقليل المخاطر
تحتاج صيانة الفلاتر عالية الكفاءة من النوع V إلى الموازنة بين "العمر التشغيلي" و"متطلبات النظافة"، وتجنب الاستبدال المفرط (زيادة التكاليف) أو الاستبدال المتأخر (مما يؤدي إلى فشل النظافة).
التنظيف المنتظم والحماية قبل الترشيح
ترقية نظام الترشيح المسبق: قم بتركيب "مرشح أولي (G4) + مرشح متوسط (F8)" في الجزء العلوي من المرشح عالي الكفاءة على شكل حرف V لاعتراض أكثر من 80% من الجسيمات الكبيرة (مثل الغبار والشعر)، وتقليل حمل حمل الغبار لمادة المرشح على شكل حرف V، وإطالة عمر الخدمة (عادةً بمقدار 30% إلى 50%).
الاستبدال المنتظم للمرشح الأولي: يجب استبدال المرشح الأولي كل شهر إلى شهر أو شهرين، والمرشح متوسط الكفاءة كل 3-6 أشهر لمنع انسداد المرشح الأولي والتسبب في "مقاومة الهواء للانتقال" إلى المرشح عالي الكفاءة من النوع V.
الاستبدال وفقًا للمؤشرات المزدوجة "المقاومة + الوقت"
تحديد أولوية الاستبدال على أساس "المقاومة النهائية" : عندما يصل فرق الضغط إلى المقاومة النهائية (مثل 450 باسكال)، يلزم الاستبدال حتى قبل الوقت المحدد مسبقًا.
الاستبدال الإضافي على أساس "وقت الاستخدام": بالنسبة لمناطق العمليات الأساسية في التصنيع الإلكتروني، حتى لو لم تصل المقاومة إلى المقاومة النهائية، فمن الضروري استبدالها قسريًا كل "1-2 سنة" (لتجنب تقادم مادة المرشح التي تسبب تساقط الألياف). يمكن تمديد الفترة بالنسبة للمنطقة العادية إلى 2 إلى 3 سنوات.
"التحكم النظيف" أثناء عملية الاستبدال
عند الاستبدال، اتبع "عملية خالية من الغبار" : يجب على المشغّلين ارتداء بدلات نظيفة وقفازات خالية من الغبار، واستخدام "أكياس خالية من الغبار" لإغلاق الفلتر القديم (لمنع انتشار الغبار أثناء الاستبدال). يجب تركيب الفلتر الجديد مباشرة بعد الفتح (يجب ألا يتجاوز وقت التعرض 10 دقائق).
بعد الاستبدال، أعد فحص التسريبات: بعد كل عملية استبدال، يجب إجراء "اختبار تسرب مسح الهباء الجوي" مرة أخرى للتأكد من تركيب الفلتر الجديد وإغلاقه بشكل صحيح.
V. التآزر البيئي: التحكم في مصادر التلوث الخارجي للغرف النظيفة
لا يمكن للتشغيل المستقر للمرشحات عالية الكفاءة من النوع V من دون "التحكم المنسق في البيئة الخارجية"، ومن الضروري تقليل حمل الملوثات التي تدخل الغرفة النظيفة من المصدر.
تنقية الموظفين والمواد
دخول الأفراد: من الضروري المرور من خلال "غرفة الاستحمام الهوائية (لإزالة الغبار السطحي) + غسل اليدين وتطهيرهما + ارتداء بدلات نظيفة" لمنع الموظفين من جلب الوبر أو الشعر.
إدخال المواد: الدخول من خلال "نافذة النقل (المجهزة بالتطهير بالأشعة فوق البنفسجية + الترشيح عالي الكفاءة)". يجب إزالة التغليف الخارجي خارج الغرفة النظيفة لتجنب تلوث الغبار من مواد التغليف.
مراقبة تلوث المعدات والعمليات
معدات الإنتاج: قم بتنظيف الحطام المعدني وبقع الزيت على سطح المعدات بانتظام (مثل الغبار الناتج عن ماكينات الحفر ثنائية الفينيل متعدد الكلور). يمكن تركيب "عادم محلي + مرشح صغير من النوع V" بالقرب من المعدات لاعتراض الملوثات الناتجة عن المعدات مباشرة.
معالجة المواد الكيميائية: استخدم "صهاريج تخزين محكمة الغلق" لتخزين مقاوم الضوء ومواد التنظيف والمواد الكيميائية الأخرى لمنع التصاق المركبات العضوية المتطايرة بسطح المرشح بعد التطاير (مما يتسبب في انسداد مادة المرشح وانخفاض الكفاءة).
في. الاستجابة لحالات الطوارئ: الاستجابة السريعة للحالات التشغيلية الشاذة
عندما يُظهر المرشح عالي الكفاءة من النوع V التشوهات التالية، يجب اتخاذ تدابير فورية لتجنب التأثير على إنتاج التصنيع الإلكتروني:
زيادة مفاجئة في فرق الضغط: تحقق فوراً مما إذا كان الفلتر المسبق مسدوداً. إذا كان الفلتر المسبق طبيعياً، فقد تكون "دائرة قصر في تدفق الهواء" ناتجة عن تلف موضعي في مادة الفلتر. يجب إيقاف تشغيل الماكينة لاكتشاف التسرب واستبدال الفلتر.
النظافة المفرطة: أولاً، تحقق أولاً من معايرة عداد الجسيمات، ثم تأكد من خلال مسح الهباء الجوي ما إذا كان الفلتر يتسرب. إذا كان هناك تسريب، فيجب استبداله على وجه السرعة، وتتبع "سجل التركيب الأخير" لمعرفة السبب.
تلف مادة المرشح: قم على الفور بعزل المنطقة النظيفة المتضررة واستبدال المرشح ثم إجراء "التنظيف الشامل + التطهير بالأشعة فوق البنفسجية" على المنطقة النظيفة. لا يمكن استئناف الإنتاج إلا بعد تأهيل اختبار النظافة.
الملخص
يكمن التشغيل المستقر للمرشحات عالية الكفاءة ذات الطيات على شكل حرف V في التصنيع الإلكتروني بشكل أساسي في "الإدارة المحسنة طوال دورة الحياة بأكملها" - بدءًا من "اختيار ومطابقة المتطلبات النظيفة"، إلى "التركيب لمنع التسرب"، ثم إلى "مراقبة التشغيل والإنذار المبكر"، و"الصيانة والاستبدال العلمي"، وأخيرًا مقترنة بـ "التحكم في التلوث البيئي التعاوني" لتشكيل إدارة حلقة مغلقة. فقط عندما يفي كل رابط بالمعايير الصارمة لصناعة الإلكترونيات يمكن للمرشح أن يستمر في العمل بفعالية، مما يوفر بيئة نظيفة موثوقة لإنتاج المكونات الإلكترونية الدقيقة مثل الرقائق والكمبيوتر الشخصي.